廢氣VOC檢測儀在選擇合適的吸附劑，用吸附管采集一定體積的空氣樣品，空氣流中的揮發性有機化合物保留在吸附管中。采樣后，將吸附管加熱，解吸揮發性有機化合物，待測樣品隨惰性載氣進入毛細管氣相色譜儀。用保留時間定性，峰高或峰面積定量。
廢氣VOC檢測儀具有很高的靈敏度，通過高能紫外光，使空氣中大部分的有機物和部分無機物發生電離，故光電離檢測器可以檢測那些氣體電離能比紫外光源輻射能量低的氣體。在檢測過程中，空氣中的基本成分如氮氣、氧氣、二氧化碳等則不被電離(這些物質的電離能大于11eV)，對檢測結果沒有干擾。由于光離子化技術環保且，同時符合檢測器微型化的發展方向，近年來光離子化檢測器愈發受到研究者的青睞。
廢氣VOC檢測儀作為一種新型的氣體檢測裝置，具有、便捷、快速的優點，可以廣泛地應用在土壤及地下水修復、環境檢測、風險評估等領域。雖然不同種類的有機物對PID有不同的響應程度，但是總體來說PID示數與VOCs含量仍然具有較好的相關性。尤其是在干燥的土壤中，相關系數可達0.8以上，顯示出高度正相關。這種相關性隨著VOC濃度的提高還會進一步上升。根據PID檢測器的讀數，可以快速方便地推斷出土壤中VOCs的含量。雖然土壤中的水分在一定程度上對PID示數有所干擾，但是含水率與示數偏差的關系并非無跡可尋，引入修正系數后，可以將含水率的干擾在很大程度上降低。光離子化檢測器在土壤及地下水修復領域具有重大的應用潛力。
